fabrication holes的意思|fabrication holes的解释-里氏词典

[电] 构造洞

The islands with nano or micro diameters are firstly fabricated with nano island lithography, and then nano holes, nano islands, nano wells can be made from the islands by using liftoff, RIE etching, or other This thesis work has researched the fabrication technics of photonic crystal defect waveguide with air-bridge structure and collecting waveguide; Suggested using UV-lithography and wet etching to fabricate traditional waveguid
提出采用紫外光刻工艺制作传统波导结构之后，通过电子束曝光和干法刻蚀制作光子晶体小孔的工艺方案，大幅度减低了制作成本；设计出可形成空气桥结构、且适用于电子束曝光位置识别的光刻模板，在SOI材料上成功制作出带有空气桥刻蚀预留槽以及接续光波导的结构，在该结构上成功实现了光子晶体带隙波导的电子束曝光，带隙波导与接续光波导位置接续良好；最后利用预留槽进行了刻蚀牺牲层的实验，为下一步利用光子晶体小孔刻蚀牺牲层形成空气桥结构打下了基础。

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